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    淺析潔凈室靜電的危害

    點擊次數:79 發布時間:2021-05-31

    1、靜電庫侖力

      吸上粉塵、污物帶給無器件,增大泄漏或造成短路,使性能受損,成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm,鋁線寬度約100μm,氧化膜厚度在50μm時,*易使產品報廢,現在線徑更細,氧化膜很薄,很小粒徑塵粒子就會損害元器件,這種情形多發生在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中。 

      2、靜電放電ESD

     ?、僭骷慕^緣氧化膜被擊穿,引線被燒斷或線間融短。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷,觸摸器件腳時發生ESD,其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達20A(10~100s),不要說高密度,細線徑,薄Sio2膜的Lsi、Vlsi、就是一般IC、MOS都會遭受損壞。 

      一般說器件絕緣柵Sio2薄膜的耐壓場強是E=(5-10)×106V/cm,如果器件Sio2膜厚度取1000,其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿,而人帶靜電超過50V、100V是極平常的。 

     ?、谠斐稍肼?、發射電磁波干擾 

      ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖,信號強,相當與電路中幾伏的能量,頻率跨越幾MH2甚幾百MH2的強大噪聲,可能引起元器件損壞,設備和傳感器不正常工作,甚至引起設備死機。 

      ESD引起的EMI還會引發錯誤信號的輸入,或發生鎖存現象。如無塵室中,將晶園片的EMIF箱放在鋼的手推車上,晶園片的ESD會通過電感傳給手推車,車輪是絕緣的,則EMI的擴散會引起園晶片處理機死機。 

     ?、垭姄羧梭w 

      人的ESD或對人的ESD當超過人體電擊極限電流5mA以上時 ,人都會有各種傷害感覺,造成工作人員的情緒不安,操作錯誤。 

      半導體,平面顯示器,光電子等潔凈室,盡管做了很多工作,但潔凈室的靜電問題仍然影響著生產安全和產品產量,影響著制造成本和效益,影響產品的質量和可靠性。有報導國外工業專家估計,美國由于靜電造成產品的損失平均在8-33%,見表3靜電損耗報告。 

      還有人估計美國每年靜電對電子工業毀損價值達100億美元,日本80年代曾對報廢的電子產品進行分析,由ESD引起的損失占1/3。我國半導體,平面液晶顯示,光電子等都起步較晚,但靜電危害也累有發生,成品率較低。如北京一公司,SMT車間冬季4個月,常因ESD造成上百萬元損失。上海一家外資企業辦公電腦幾千臺卻因ESD人員叫苦連天,電腦工作不正常。一家研究設計院200m2多的電腦房,ESD嚴重,無法正常工作。無錫一家外資企業,曾一度由于ESD,產品質量一直不穩定。而銀行、證券公司、機要數據庫、監控中心,電力調度室等等。如出現ESD就很容易引起干擾,數據遺失,情形就更嚴重了。

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